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光刻机10万零件 中国厂商正逐个零部件突围封锁链

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2026-05-17 | Contributed by: 钛媒体 | 转到微信 | 有0人参与评论 | 字体: 放大 缩小 | 收藏 | Printer Friendly Page
很多人一提起EUV光刻机，都认为这是人类科技史上工业皇冠，全球独一家，别无分店。


而且在EUV光刻机中，10万多个零件，全球供货，没有任何一个国家能单独制造，ASML真正的核心技术不到10%，是依靠全球化分工，把各部件让全世界顶级的厂商来生产、组装出来的。




比如德国的蔡司做镜头，美国的赛默飞做传感器，日本(专题)的 NSK 做轴承，瑞典的阿法拉伐做阀门。

光刻机10万零件谁造的？

光刻机有最难的三块技术，就是光源、光学系统、精密双工件台系统。其中光源和光学系统技术门槛最高，价值量也最大。

光源占整机15%-20%，光学系统占24%-30%，双工件台占12%左右。ASML把这两块最硬的骨头分别交给美国和德国的企业，自己负责把所有零件拼成一台能24小时不停跑的机器。

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从技术层面来看，ASML高端EUV光刻机非常难以颠覆与超越。首先EUV制造所需的体积小，功率高且稳定极紫外线光源，这点美国Cymer公司一直掌握着成熟技术，其他国家都是向其采购的。



第二光学系统更是清一色德国血统，EUV光在真空里走，每面镜子都会吸收6%-8%的能量，一台机要11面镜子，加起来光能剩不到1%。所以每面镜子反射率必须做到70%左右。


反射镜面，只有用高精度和高光滑度的镜片才能聚焦和校准光线，从而光线才能精确无误的照射在硅片上来画出微小图案。目前能够达到光刻机要求的镜片标准的厂商也在德国。



蔡司从1990年代就开始跟ASML一起搞EUV光学，2012年才交付第一套量产镜组。

ASML为了绑死蔡司，购买了蔡司半导体光学子公司24.9%的股份。现在High-NA EUV镜子直径翻倍，重量上吨，还是只有蔡司能做。
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